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¹«°áÇÔ/´ë¸éÀû Hexagonal Boron Nitride (hBN)ÀÇ ÇÕ¼ºÀ» À§Çؼ´Â ÈÇйÝÀÀÀÌ ¾ø°í, °áÇÔÀÌ ¾ø´Â ´Ü°áÁ¤ ±¸¸®(Cu) ¹ÚÆÇÀÇ »ç¿ëÀÌ ¹Ýµå½Ã ¿ä±¸µÈ´Ù. µÎ²² 0.25mmÀÇ ´Ù°áÁ¤ ±¸¸®(Cu) ¹ÚÆÇÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© 1070¡É ~ 1080¡É ¹üÀ§ÀÇ ¿Âµµ¿Í ÀÏÁ¤ Á¶°Ç¿¡¼ ¾î´Ò¸µ(Annealing)À» ½ÃÇàÇÏ¿© °áÇÔÀÌ ¾ø´Â ´ë¸éÀû/´Ü°áÁ¤ ±¸¸®(Cu) ¹ÚÆÇÀ» Á¦ÀÛÇß´Ù.
Á¦ÀÛµÈ ¹«°áÇÔ/´ë¸éÀû/´Ü°áÁ¤ ±¸¸®(Cu) ¹ÚÆÇÀ» »ç¿ëÇÏ¿© 1000¡É¿¡¼ ±Ý¼Ó¡¤À¯±â ÈÇÐ ±â»ó ÁõÂø(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition¡¤MOCVD) ¹æ¹ýÀ¸·Î ´Ü°áÁ¤ ±¸¸®(Cu) ¹ÚÆÇ Ç¥¸é¿¡ ¹«°áÇÔ/´ë¸éÀû/´Ü°áÁ¤ hBNÀ» ÇÕ¼ºÇÏ¿´°í, ±¸¸®(Cu) ¹ÚÆÇÀ» ¿¡ÄªÇÏ¿© hBNÀ» ºÐ¸®Çß´Ù.
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2025.12.01(¿ù) 15:43





















